1、用膠管與冷凝水連接，用真空膠管與真空泵相聯(lián)。
2、先將水注入加熱槽。選用純水，自來水要放置1-2天再用。
3、調(diào)正主機(jī)角度：只要松開主機(jī)和立柱連結(jié)螺釘。主機(jī)即可在0-45度之間任意傾斜。
4、接通冷凝水，接通電源220V/50Hz，與主機(jī)連接上蒸發(fā)瓶（不要放手），打開真空泵使之達(dá)一定真空度松開手。
5、調(diào)正主機(jī)高度：按壓下位于加熱槽底部的壓桿，左右調(diào)節(jié)弧度使之達(dá)到合適位置后手離壓桿即可達(dá)到所需高度。
6、打開調(diào)速開關(guān)，綠燈亮，調(diào)節(jié)其左側(cè)旁的轉(zhuǎn)速旋鈕，蒸發(fā)瓶開始轉(zhuǎn)動。打開調(diào)溫開關(guān)，綠燈亮，調(diào)節(jié)其左側(cè)旁的
調(diào)溫旋鈕，加熱槽開始自動溫控加熱，儀器進(jìn)入試運(yùn)行。溫度與真空度一到所要求的范圍，即能蒸發(fā)溶劑到接受瓶。
7、智能一體化蒸餾儀蒸發(fā)完畢，首先關(guān)閉調(diào)速開關(guān)及調(diào)溫開關(guān)，按壓下壓桿使主機(jī)上升，然后關(guān)閉真空泵，并打開冷凝器上方的放空閥，使之與大氣相通，取下蒸發(fā)瓶，蒸發(fā)過程結(jié)束。

在半導(dǎo)體制造中，使用洗滌溶液從晶片表面去除金屬和其他污染物的洗滌過程占整個(gè)工藝過程的約20%-30%。目前，洗滌溶液的更換頻率通常基于使用時(shí)間來確定的。然而，近年來，降低制造成本和減少環(huán)境影響的需求要求更有效地使用洗滌溶液。因此，有必要實(shí)時(shí)監(jiān)測污染程度。為了滿足這些需求，島津一直在研究LIBS技術(shù)，因?yàn)?/span>LIBS技術(shù)的研發(fā)可以利用島津自身廣泛的激光光學(xué)和光譜技術(shù)優(yōu)勢蒸餾法測氨氮?的具體操作方法。 LIBS是一種可以輕松同時(shí)測量多個(gè)元素的技術(shù)。當(dāng)樣品被激光照射時(shí)，它通過樣品表面的熱蒸發(fā)產(chǎn)生等離子體。該等離子體發(fā)出特征光是樣品所*的。因此，可以通過檢測所得光譜來測量元素。通過激光照射在特殊板上蒸發(fā)至干燥的樣品產(chǎn)生等離子體，然后檢測從等離子體發(fā)射的光以識別和定量樣品中包含的金屬元素。檢測限為ppm級別。該技術(shù)基于LIBS測量原理，提供世界的靈敏度水平(根據(jù)島津截至2018年7月的調(diào)查)。目前的原型機(jī)尺寸為1 m×1 m蒸餾法測氨氮的?具體操作方法，可與半導(dǎo)體晶圓清洗系統(tǒng)連接。從取樣到測量洗滌溶液的整個(gè)過程是*自動化的，并且可以在大約一分鐘內(nèi)完成12種痕量金屬組分的同時(shí)測量，例如銅、鋁和鈦。由于能夠更好地理解合適的洗滌溶液更換頻率，使得該技術(shù)的實(shí)際應(yīng)用將提供諸如提高產(chǎn)率和降低制造成本等益處。